





手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因:新箱调试或误操作。
办法:停止循环,开启清洗,清洗至100ppm以下,开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因:气源压力不足。
办法:换气瓶,增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因:真空泵阻力过大,造成跳闸。
办法:维修真空泵后,打开电柜,合上跳闸开关。
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手套箱的日常维护保养
1.每次工作前后,首先对环境清扫,四川手套箱专用氧分析仪,使地面干燥,手套箱专用氧分析仪价格,洁净。再对设备进行清洁,包括手套箱内、外表面,观察系统,工作台面等要无杂物,洁净。
2.每日认真记录手套箱水、氧含量、设备耗气量,避免气体压力不足,导致设备停止运行。
3.随时注意工作气钢瓶内气体的容量,及时更换。
4.若遇停电,通电后需按面板上的“真空泵”按钮使真空泵运转。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,手套箱专用氧分析仪公司,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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