真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，手套箱专用氧分析仪厂家，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱操作过程中的注意事项
1、手套箱系统工作中真空泵应保持开启状态。
2、当箱内氧气浓度超出200PPM时，应通知设备维修人员进行系统操作，否则会破坏水、氧净化系统。
3、在手套箱启动循环前做检查，是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行，肯定禁止进行循环。
4、两个净化柱不可以同时再生。
A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净(H2O<200ppm)保证足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。
B、手套箱启动再生之前，请先确认相应的净化柱循环已关闭。
C、手套箱再生过程需要24小时，一旦执行不能被断开，再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量，适当调整再生气体的压力，保证再生气在这3小时的充足供应，第6小时后可以关闭再生来源。
D、手套箱再生进程中真空泵不可以关闭，不要触摸净化柱的顶部，以防烫坏。
E、再生一旦意外终止，请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。
5、手套箱作业中应注意保护作业手套不要被损坏。
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手套箱故障分析
一、工作气压力过低
1. 检查工作气体是否充足；
2. 减压表是否损坏。
二、循环自动停止
1. 箱体压力过高会造成手套箱自动停止循环，检查是否有工作气持续补进去；
2. 箱体压力过低造成手套箱循环自动停止循环，检查过渡舱是否关严；检查其他有可能没有关严造成跟真空泵直通；
3. 检验压力传感器是否损坏。
4. 检查气源压力是否在0.4-0.6MPa
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