手套箱故障分析
一、风机跳闸
1. 检查设备是否有溶剂过滤系统，观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确；
2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了？这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对；
3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。
二、风机出现杂音轴承缺油，需专业人士拆开风机，加油保养。
三、手套箱不断漏气
1. 设备本身密封出现问题，保压检漏；
2. 过渡舱舱门未关严；
3. 脚踏是否被东西压住；
4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。
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手套箱操作步骤
将物件放入与取出主箱体的方法：
1、将物件放入主箱体的方法：当您完成“抽真空与充气”的操作后，如需要放物件放入主箱体，请先将过渡室的内门关上，打开过渡室的外门，半导体手套箱，将物件放入，然后关上外门，利用过渡室上的二个阀门进行抽气和充气。务必使主箱体和过渡室内的压力与大气压基本平衡，才能打开里面的门，将物件拿进主箱体。
2、将主箱体内物件取出的方法： 先将物件放入过渡室，关紧过渡室内门。如过渡室内气压与大气压基本平衡，即可打开过渡室外门将物件取出。
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手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱调试或误操作。
办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因：气源压力不足。
办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。
办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。
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