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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，屏蔽手套箱，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱故障分析
一、循环启动不了
1. 工作气压力是否在0.4-0.6MPa之间；
2. 高真空挡板阀电磁开关反馈是否正常；
3. 压力传感器是否显示正常；
4. 风机空开是否跳闸；
5. 风机变频器是否正常；
6. 点循环后，继电器是否同时亮两个。
二、再生按钮不起作用
1. 需输入密码；
2. 真空泵未打开；
3. 此净化柱正在循环（再生和循环不能同时在一个净化柱上）。
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手套箱的日常维护保养
1.每次工作前后，首先对环境清扫，使地面干燥，洁净。再对设备进行清洁，包括手套箱内、外表面，观察系统，工作台面等要无杂物，洁净。
2.每日认真记录手套箱水、氧含量、设备耗气量，避免气体压力不足，导致设备停止运行。
3.随时注意工作气钢瓶内气体的容量，及时更换。
4.若遇停电，通电后需按面板上的“真空泵”按钮使真空泵运转。
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