真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱故障分析
一、按键无法操作
1. 手套箱压力是否正常；
2. 检查PLC的通讯线是否松动；
3. 公共端24M、M、COM等的接线有松动。
二、真空泵操作不了
1. 请查看真空泵泵体上的按钮开关是否打开，“0 OFF” “1 ON”；
2. 查看真空泵的断路器是否跳闸。
三、真空挡板阀打不开
1. 工作气压力太低，压力范围应该是0.4-0.6MPa之间；
2. 挡板阀未通电。
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真空手套箱
真空手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称手套箱、惰性气体保护箱、干箱等。主要对O2，核工业手套箱，H2O，有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。
技术指标:1、水含量小于1ppm； 氧含量小于1ppm。2、过渡舱可承受：真空度≥100pa。3、密闭性：泄漏率≤0.05Vol%/h
想了安装环境编辑电：需要220V/50Hz；水：需将普通自来水接入净化系统的冷却水进口，真空手套箱，将水箱加满为止，不需长期打开阀门；气：需要提供惰性气体（N2或Ar）或混合气（N2或Ar占90%，H2占10%），如没有此混合气体也可以用N2或Ar和H2的纯净气体按比例进行混合代替。
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真空手套箱-手套箱-艾明坷公司由艾明坷科技（北京）有限公司提供。行路致远，砥砺前行。艾明坷科技（北京）有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为工业自动控制系统及装备具有竞争力的企业，与您一起飞跃，共同成功!
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