真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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惰性气体手套箱分为三种
A）真空手套箱：在操作前，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。
B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。
C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。
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如何选择真空手套箱
首先我们确定是需要几个人操作的箱体，即几个工位。真空手套箱少是1个人操作，手套箱，多则不限制。
1个人操作的手套箱一般有以下尺寸规格：5521101型（单面2个手套孔），
箱体外形尺寸l*w*h≈900×700×850mm5621101型（单面2个手套孔），
箱体外形尺寸l*w*h≈1200×850×1000mm5631101型（单面3个手套孔），
箱体外形尺寸l*w*h≈1600×850×1000mm
然后要明确告诉生产厂家，手套箱生产厂家，箱体内可能接触到的物料名称，以此来确定手套箱箱体需要的材质。后就是根据自己的实验、生产要求，手套箱生产厂家，确定必要的配置清单，以免购置不需要的部件。比如实验中对水份含量要求高，对氧气含量没有要求，则可以不用购买氧传感仪器。
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