真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱简介
手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称真空手套箱、惰性气体保护箱等。主要功能在于对O2，H2O，有机气体的清除。
广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等。
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带净化系统手套箱
目前行业内常用的有手套箱。手套箱的除水除氧功能是靠净化材料来实现的，手套箱生产厂家，而净化材料在吸附饱和后需要通过再生来恢复其活性，使其重新具有除水除氧功能。目前行业内的一些厂家的产品还原清洗较频繁，除了密封、净化材料的再生工艺问题外，存在净化柱的结构设计不合理、高径比设计不科学，通入的还原气体流量控制不科学，每次还原再生不等因素。
因此，寻求一种优异的手套箱净化再生系统，使得再生工艺中净化材料加热时更加均匀，还原更加，提升净化再生体系效能是整个行业迫切需要解决的问题。
为了克服上述困难，提供一种带净化系统的手套箱，净化再生效果好，净化材料利用率高，艾明坷气体净化手套箱根据还原反应在不同阶段对还原气体消耗量的差异，通过PLC程序自动控制时间、调节气体流量实现还原气体流量自动控制。手套箱气体净化系统提升了净化材料的利用率，提高了手套箱箱体净化的使用次数，降低了净化柱还原的频率。
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