惰性气体手套箱分为三种
A）真空手套箱：在操作前，手套箱生产厂家，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。
B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。
C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。
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手套箱故障分析
一、工作气压力过低
1. 检查工作气体是否充足；
2. 减压表是否损坏。
二、循环自动停止
1. 箱体压力过高会造成手套箱自动停止循环，检查是否有工作气持续补进去；
2. 箱体压力过低造成手套箱循环自动停止循环，手套箱厂家，检查过渡舱是否关严；检查其他有可能没有关严造成跟真空泵直通；
3. 检验压力传感器是否损坏。
4. 检查气源压力是否在0.4-0.6MPa
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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