





真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,手套箱厂家,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱功能
1、密闭循环:真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统,由气体净化系统提供气体循环动力。
2、人机对话:配置彩色触摸屏,中文界面,实现人机对话,操作便捷
3、自动控制(由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制)
实现功能:手/自动控制箱体压力;
手/自动控制气体净化系统的净化状态;
自动控制气体净化系统的还原过程;
手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱(配置双净化柱时);
自动箱体气氛报警;
箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换;
气体净化系统自动控制功能的参数设置;
查阅系统历史纪录;
气体净化系统执行机构工况检测;
程序控制系统的操作错误和警告提示
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手套箱利用
操作室厌氧环境形成:
1.按利用要求放置好的附件和器具;
2.通电源开照明灯,开温控仪,调节所需温度;
3.操作室内放入1000g钯粒和500g干燥剂,并放入美兰指示纸;
4.关紧取样室内外门,并抽真空校验;
5.操作室内*次置换(氮气置换):
A.把乳胶手套套在察看板法兰圈上并扎紧
B.接通氮气进气路,手套箱生产厂家,打开氮气节制阀1,使手套鼓起,封1锁阀门1,然后扎紧袋口;
6.手套箱操作室次置换(氮气置换)反复一次充氮过程,取样室先抽真空,并注意随时用脚踏开关开闭排气。如此持续三次氮气置换。
7.操作室第四次置换(夹杂气体置换):
(夹杂气体配比为N285%、H210%、CO25%)
A.更调气路打开夹杂气阀3进气,手套箱生产厂家,充气时取样室先抽真空,并随时用脚踏开关开闭排气;
B.关掉夹杂气体阀3,并打开阀5,使夹杂气体经由流量计,手套箱,调整流量计,流量为每分钟10ml摆布;
C.夹杂气体反复2-3次转换,经由上述过程,根基形成厌氧环境。
8.操作室内打开粑粒除氧剂,接通除氧催化器电源进行催化除氧,一小时后打开美兰指示纸察看其变色状况,不变色为操作室内达到厌氧环境;
9.开紫外线灯,室内进行措置,时间按具体尝试自定。
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