真空手套箱
手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱，所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时，国内批厂商命名的，就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱，箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思，可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体；有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体，里面填充99.999%纯度氮气，一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度，不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气；净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱，可达到的环境气氛纯度高，一般品质过硬的厂商，水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。
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手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱调试或误操作。
办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因：气源压力不足。
办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因：真空泵阻力过大，手套箱生产厂家，造成跳闸。
办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。
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手套箱故障分析
一、手套箱不断抽真空
1. 过渡舱舱门未关严；
2. 脚踏是否被东西压住；
3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；
4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。
二、手套箱用气量增大
1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；
2. 高真空挡板阀气体泄漏；
3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。
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