手套箱故障分析
一、手套箱不断抽真空
1. 过渡舱舱门未关严；
2. 脚踏是否被东西压住；
3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；
4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。
二、手套箱用气量增大
1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；
2. 高真空挡板阀气体泄漏；
3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。
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手套箱工作原理
手套箱系统是将高纯惰性气体充入密闭的箱体内，并通过净化系统循环过滤掉其中的活性物质(水、氧均能达到1PPM以下)的实验室设备。
主要由箱体、机架、过渡舱、气体净化系统、PLC自动控制系统等组成。
主要对O2，H2O，有机气体的清除。
适用于无水、无氧、无尘的超纯环境。如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。
针对艾明坷手套箱来说，我们可以做到:
手套箱为密闭循环设计，节约运行成本，在标准状况下，即20oC恒温，一个标准大气压，99. 999%的惰性气源，水氧指标均小于1 ppm；
箱体及大小过渡舱使用304不锈钢板，前视窗为钢化玻璃，耐磨防腐蚀；
触摸屏PLC控制，自动化程度高，可实现：箱体内气体压力自动控制，箱体内气氛自动清洗，净化材料自动再生，系统运行数据自动记录等操作;
用户可根据实际需求在标准手套箱上选配各种附件：水分析仪、氧分析仪、溶剂吸附器、冰箱高温加热装置、激光焊机等。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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