真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，真空手套箱价格，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱的日常维护保养
1.手套箱每周检查真空泵油面，不足三分之二时要注意添加，为保证真空泵的运转，延长真空泵的使用寿命，建议每半年更换一次真空泵油。
2.箱体和玻璃用常用的清洁剂清洗外面（禁止使用有腐蚀性的清洁剂）；用柔软的无绒屑的布；如果可能可以使用带刷子的吸尘器或粘纸滚轮。
3.检查手套是否破损，特别是手指头上，工作时请戴布手套以免在手套内产生水气。另外，工作完毕后请把每个手套上的5个指套指向外，防止时间长了，汗液把指套粘住。注意：发现手套破损后要立即更换，禁止对手套进行任何修补。
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手套箱是一套性能高的自动吸收水、氧分子，纯化工作环境的密闭循环工作系统，提供可以满足您特定清洁要求应用的1ppm的O2和H2O惰性的氛围环境。该系统是为满足客户科研开发而设计的经济型循环净化系统。
主要功能在于对O2、H2O、有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等。
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