手套箱操作过程中的注意事项
1、手套箱系统工作中真空泵应保持开启状态。
2、当箱内氧气浓度超出200PPM时,应通知设备维修人员进行系统操作,否则会破坏水、氧净化系统。
3、在手套箱启动循环前做检查,是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行,肯定禁止进行循环。
4、两个净化柱不可以同时再生。
A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净(H2O<200ppm)保证足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。
B、手套箱启动再生之前,请先确认相应的净化柱循环已关闭。
C、手套箱再生过程需要24小时,一旦执行不能被断开,再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量,适当调整再生气体的压力,保证再生气在这3小时的充足供应,第6小时后可以关闭再生来源。
D、手套箱再生进程中真空泵不可以关闭,电池手套箱定制,不要触摸净化柱的顶部,以防烫坏。
E、再生一旦意外终止,请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。
5、手套箱作业中应注意保护作业手套不要被损坏。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱手套的安装与维护
初次安装手套箱请先将手套套在手套口上面,然后分别将内外密封圈安装,安装后检查一下,确定密封圈均在凹槽内。
如果在使用过程中发现手套破损,应及时更换,步骤如下:
1.把要替换的手套推倒箱体内;
2.摘除掉外部的O型圈,再移动里面的O型圈致手套口外部槽上;
3.把手套卷到外面的O型圈边,注意不要让手套从手套口上掉下来;
4.尽可能地压缩新的手套,赶出里面的空气;
5.把新的手套安装到手套口上,套在旧手套上;
6.在新手套外部,手套口里面的槽上安装O型圈;
7.如果可以,把新手套放入隔离开的工作气体环境中清洁(这样能大程度去除空气,减少进入手套箱体内的空气量);
8.从手套箱里面,用另一个手套把旧手套摘到箱体内;
9.在新手套外面,手套口外部的槽上安装上O型圈;
10.通过过渡舱把旧手套取出,妥善处置。
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