真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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什么是手套箱
这里所指的手套箱是一个全密闭的腔体，简易手套箱生产厂家，把腔体内外的环境完全隔绝开，腔体的一面安装有视窗 和手套，操作人员通过手套对腔体内的物料进行操作。
手套箱有多种用途
1）当对有毒有害物料进行操作时，手套箱可以保护操作人员和环境；
2）当大气环境的 物质如细菌和粉尘会污染物料时，手套箱可以用于隔离箱体外部的物质，保护箱体内的材料免遭污染；
3）当空气会与物料作用影响物料性能时，手套箱里可以充满 惰性气体，箱体用于隔离箱体外部的空气，保护箱体内的材料免遭空气的气体如水、氧气、有时甚至氮气的污染。后一个设备称为惰性气体手套箱，为要操作的物 料提供一个惰性气体的环境。
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手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱（水氧吸附器）之间，在PLC的控制和监视下，通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉，然后再返回箱体内，随着循环时间的推移，箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少，终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和，可进行再生，重复使用。
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