浙江半导体手套箱生产厂家“本信息长期有效”
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手套箱常见故障及解决办

1、水氧含量大于200ppm

原因:新箱调试或误操作。

办法:停止循环,开启清洗,清洗至100ppm以下,开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因:气源压力不足。

办法:换气瓶,半导体手套箱生产厂家,增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因:真空泵阻力过大,造成跳闸。

办法:维修真空泵后,打开电柜,合上跳闸开关。

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手套箱简介

手套箱是一种提供无水无氧环境的设备,该设备主要由显示系统、过渡舱、真空系统、控制系统、箱体、循环净化再生系统等部分组成,同时还可分别与气体净化系统、溶剂过滤系统、水氧显示系统集成工作。箱体采用钢板或镜面不锈钢亚弧焊制而成,双层钢化玻璃。美观新颖、性能稳定。

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手套箱操作提示

1、不管打开内门还是外门,都必须保证门两边的气压基本平衡,否则,要么打不开,要么发生“气爆”现象。同样,在对箱体内抽气与充气时,也必须保证三通阀处于打开状态(即保证手套内外的气压相等),否则,手套会膨胀爆裂。

2、如箱体出现漏气,应首先检查过渡室门是否关紧和手套口是否破损。如还有漏气请检查真空表座、阀门及两个门上的“O”型圈及真空橡皮。过渡室门与手套口门上的“O”型圈要定期更换(根据用户的使用频率而定)。

3、对系统抽气时,请缓缓打开阀门,并随时注意手套的变化,如出现膨胀,应减慢抽气速度,如仍不能解决问题,应停止抽气,如手套发生爆裂,检查三通阀是否打开。

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