核工业手套箱厂
真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）
4、检查设定里的上限压力应为+1，下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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使用有机玻璃手套箱时应该注意哪些事情
有机玻璃手套箱，材质是有机玻璃的 有机玻璃也叫亚克力。
这种材质和酒精发生膨胀反映，亚克力会领受酒精后 膨胀，因此，膨胀后会在概况发生良多小的银丝1裂纹。
所以，有机玻璃手套箱在利用和洁净的时候，必需注意，核工业手套箱厂，不能利用酒精。有机玻璃手套箱。
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