半导体手套箱厂
半导体手套箱厂





手套箱故障分析

一、工作气压力过低

1. 检查工作气体是否充足;

2. 减压表是否损坏。

二、循环自动停止

1. 箱体压力过高会造成手套箱自动停止循环,检查是否有工作气持续补进去;

2. 箱体压力过低造成手套箱循环自动停止循环,检查过渡舱是否关严;检查其他有可能没有关严造成跟真空泵直通;

3. 检验压力传感器是否损坏。

4. 检查气源压力是否在0.4-0.6MPa

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手套箱操作步骤

抽真空与充气的放法:

1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空,过渡室则可以单独抽真空。

2、先打开过渡室里面的门,然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。

3、打开手套口之间的三通阀(逆时针旋转),将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体,半导体手套箱厂,使得抽气时手套内外(箱体和接口)同时抽真空,保持两边气压平衡。

4、将真空泵接到过渡室一个阀门上,开启真空泵,缓缓打开此阀门,对系统抽气(如打开阀门的速度太快,可能引起手套膨胀)。

5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时,抽真空完成,此时应先关阀门再关真空泵。

6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体,直至气压比大气压(气压表指数为0MPa)略高一点,使箱体内、外的压力基本平衡,且内部略高于外部,可保证大气不会渗入箱体内部(如果您想使箱体内的气体更纯净,将以上抽气和充气过程重复几次)。关掉连接手套接口的三通阀,打开手套接口上的压盖,就可以进行操作了。

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手套箱品质和状态好的标准是什么?

手套箱是一种提供无水无氧的惰性气体保护气氛环境的设备,包含惰性气体吹扫净化手套箱、真空手套箱和惰性气体循环净化手套箱

手套箱概念和原理早由欧美国家提出和研发成功的,由于西方发达工业国家的化工、材料、核工业发展比较早,相关领域的新产品和新材料研发生产对生产环境的要求越来越苛刻,无法在含水含氧量高的空气环境中进行,空气中的水氧等活性物质与活泼物料反应变质,所以早期欧美的科研人员迫切需要设备工程师开发出能够提供无水无氧环境的设备,经过德国、法国、美国等国家的设备设备工程师的研发和不断改进,以及经验技术积累,逐渐完善出了循环净化惰性气体保护手套箱这类型的设备,手套箱设备也逐渐广泛大量应用于高1端化工、能源、材料和焊接等科研、生产领域。

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