手套箱操作步骤
将物件放入与取出主箱体的方法:
1、将物件放入主箱体的方法:当您完成“抽真空与充气”的操作后,如需要放物件放入主箱体,屏蔽手套箱生产厂家,请先将过渡室的内门关上,打开过渡室的外门,将物件放入,然后关上外门,利用过渡室上的二个阀门进行抽气和充气。务必使主箱体和过渡室内的压力与大气压基本平衡,才能打开里面的门,将物件拿进主箱体。
2、将主箱体内物件取出的方法: 先将物件放入过渡室,关紧过渡室内门。如过渡室内气压与大气压基本平衡,即可打开过渡室外门将物件取出。
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手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气,氮气要及时更换,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常(氧为0.1ppm以下,屏蔽手套箱厂家,露1点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,屏蔽手套箱,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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